ОбидваВакуумний насос і компресорє пристроями для обробки газу, але їх принципи роботи та сфера застосування різні.
Основна функція вакуумного насоса полягає у видаленні газу з реакційної камери для зниження тиску в контейнері для досягнення заздалегідь визначеного ступеня вакууму. Газ витягується з простору через всмоктувальний та вихлопний механізм, щоб утворити вакуумний стан. Вакуумні насоси зазвичай використовуються в лабораторіях, виробничих та виробничих полях. У вафельних фабриках, офортному обладнанні, обладнання для осадження, літографічному обладнанні EUV, обладнання для імплантації іонів, обладнання для виявлення та характеристики тощо. Все потрібно пилососити.
Функція компресора полягає у вдиханні газу та стиснення його, підвищення тиску газу, стиснення газу в менший об'єм та збільшення щільності та тиску газу. Його робочий принцип полягає у стисненні газу через випускний клапан, а потім покласти стислий газ у газовий бак або інше обладнання. Компресори зазвичай використовуються для обробки та виробничих полів. Газ CDA, про який ми часто говоримо, надає компресор. CDA використовується для управління різним обладнанням для автоматизації та клапанами. Для напівпровідникового виробництва CDA повинно бути дуже чистим і сухим. Вихід повітря компресором повинен пройти через складну систему фільтрації, щоб видалити масло, вологу та інші частинки, щоб переконатися, що не було забруднення пластини.
Які категоріїВакуумний насос і компресор?
У напівпровідниковому обладнанні зазвичай використовуються сухі насоси та молекулярні насоси. Сухий насос посилається на вакуумний насос, який не використовує жодної рідини як ущільнювального або охолоджуючого середовища, уникаючи проблеми забруднення пари нафти. Зазвичай він використовується для шорсткого видобутку вакууму напівпровідникового обладнання. Молекулярні насоси можуть досягти надзвичайно високих рівнів вакууму. Сухі насоси та молекулярні насоси часто використовуються в поєднанні в напівпровідниковому обладнанні для задоволення потреб різних рівнів вакууму.
Компресори можна розділити на поршень, гвинт, центрифугальний, обертовий повітряний компресори тощо.
Через різні конструкції та принципи роботи вакуумного насоса та компресора вакуумні насоси зазвичай не можуть замінювати компресори. Хоча вакуумні насоси можуть знизити тиск і щільність газів, вони не можуть стиснути гази в менші обсяги та більший тиск. Крім того, завдяки обмеженій продуктивності та робочій характеристиці вакуумних насосів вони найкраще підходять для обробки газів з низькою щільністю та середовищами низького тиску.
Тому, якщо газ потрібно стиснути в менший об'єм і більший тиск, слід використовувати компресор. Навпаки, якщо газ потрібно витягнути і утворюється вакуумний стан, слід використовувати вакуумний насос.
Хоча і те, і іншеВакуумний насос і компресорє пристроями, що використовуються для обробки газу, існують великі відмінності в принципі проектування та роботи. Хоча вакуумний насос може знизити тиск і щільність газу, він не може замінити компресор, особливо коли газ потребує стискання в менший об'єм і більший тиск.
